合肥造“光刻機”產品處于****水平

    張鐘華院士在剛剛落幕的２００７年國家科技獎勵大會上獲得國家科技進步一等獎，他與葉聲華院士分別是國內**的精密電磁測量專家和測試計量技術及儀器專家。受合肥市邀請，昨天他倆來肥領銜為中國首臺高精度“光刻機”進行技術鑒定（該“光刻機”本報曾多次做過**報道）。９人專家組為該機做出高度評價：“產品填補了國內空白，整體技術在同類產品中達到國際先進水平，標志著我國亞微米級光刻機完全依賴進口的局面被打破?！?/font>

    昨天下午，兩院士在合肥經濟開發區“光刻機”鑒定新聞發布會上盛贊合肥市政府和領導的眼光，“合肥市領導非常有遠見，在該項目實施初期就意識到它的重要性和高科技性，慧眼把光刻機這樣的先進技術引到合肥。這樣的技術不僅******，而且對創造經濟價值和社會效益都具有非常大的意義?！?/font>

    據悉，２００５年，來自美國硅谷的５名投資創業者來到合肥，投資研發國內首臺直寫式“光刻機”。去年１１月底，該機成功面世。

    據介紹，該項目之所以重大**，是因為“光刻機是生產芯片的*關鍵設備，由一片空白的晶圓成為一塊電子元器件，其中所有的電路圖案都是由光刻機制作的”。我國目前已成為全球*大的集成電路消耗國，據統計，所用集成電路占全球的２４％以上，但集成電路國內市場自給率卻少于１０％，故而光刻機被國家“十一五”發展規劃明確定義為重點制造裝備。

    據悉，在合肥制造的直寫式光刻機分辨率達到亞微米級，在主要性能指標分辨率等方面，與目前在此領域先進的日本和德國同類產品相比，處于****水平，而該機的價格不到國外的１／３。